450度光刻膠固化無氧干燥箱

450度光刻膠固化無氧干燥箱

產品品牌:HASUC

產品描述:

450度光刻膠固化無氧烤箱

450度高溫無氧烤箱采用智能烘箱過程管理系統,由上海和呈儀器制造有限公司自主研發,基于TCP/ip協議,與工廠系統對接,實現自動化烘烤,過程管理??刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造,大大提高生產效力!


450度高溫無氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。


450度高溫無氧烤箱主要技術指標
1、潔凈等級:Class100級
2、含氧量:<=20PPM
3、使用溫度:RT~400℃,可做溫度:450℃;
4、腔體數量:2個,上下布置;獨立控溫
5、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
6、空爐升溫時間:1.5h;
7.空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);
8.智能控制系統:日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

智能控制系統特點:
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權限分級管理,給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統,歷史數據、操作、報警,事件等等數據查詢,記憶操作步驟,操作便捷
◆ PC 內部記錄數據,使用 Excel 等常用軟件可以讀取,數據記錄間隔5S;
◆ 工廠系統,選擇烘烤工藝,啟動/停止烘箱;
◆ 工廠系統根據,過程判斷待烤料件工位,記錄反饋工位信息;
◆ 系統控制開/關門等動作;
◆ 系統記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮氣不足,含氧量超標、門未關到位;
◆ 實施記錄各種相關數據,如,溫度,料件ID,工藝信息

工藝線標準
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃




產品參考圖:

上一個:厭氧烘箱
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